简述电阻式真空计的设计理念
更新时间:2015-08-12
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简述电阻式真空计的设计理念
电阻式真空计是由电阻规管和测量仪表单元组成。现以定温式电阻式真空计为例说明其测量原理。所谓定温式就是利用加热电源的自动补偿功能,在测量过程中保持热丝温度不变,也就恒定了热丝的电阻。
在电阻式真空计电阻规管里有一个电阻随温度变化的热丝,给热丝通电发热,若炉内气体较多,气体压力P就大,气体分子从热丝上传走的热量就多,热丝温度降低,热丝电阻也就随之减小,若取热丝两端电压V或流过热丝的电流I值作为补偿参数,加热电源系统会启动补偿功能,自动提高加热电压或电流,使其热丝温度保持不变,即恒定了热丝的电阻值。利用在一定温度下,补偿电压V或电流I与气体压强P的函数关系,就可计算出气体压强(真空度)。
目前大多数智能电阻式真空计采用了*的恒功率定温技术,以及微处理器对规管的非线性线性化处理技术,使得真空计具有*的稳定性能、宽广的有效测量范围、极快的响应速度、较小的零点/满度漂移等特性。为适应真空设备自动化技术,集成了继电器触点控制、串行通讯、真空模拟量输出等扩展功能。