浅析电子真空计的测量范围

　　浅析电子真空计的测量范围
　　电子真空计在压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。这是真空测量的特点，亦会造成某些问题。
　　任何具体物理现象与压力的关系，都是在某一压力范围内才zui显著，超出这个范围，关系变得弱了。因此，任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是电子真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程，是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105～10-14pa)，没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于不同型号的电子真空计在原理上的差异．在相互衔接的区域，往往要造成较大的误差。
　　在被测空间引起一定物理现象，还会出现这样的问题，即从测量的角度出发，本需要一种单纯的物理现象，但有时却不可避免地带来一系列寄生现象，这些寄生现象不但给测量量带来误差，有时还会“喧宾夺主”，*把主要现象掩盖住了。为改善电子真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，抑制寄生现象。