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浅析电子真空计的测量范围

更新时间:2015-07-06      浏览次数:632
  浅析电子真空计的测量范围
  电子真空计在压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。
  任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才zui显著,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是电子真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14pa),没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于不同型号的电子真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。
  在被测空间引起一定物理现象,还会出现这样的问题,即从测量的角度出发,本需要一种单纯的物理现象,但有时却不可避免地带来一系列寄生现象,这些寄生现象不但给测量量带来误差,有时还会“喧宾夺主”,*把主要现象掩盖住了。为改善电子真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。

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