不锈钢扩散泵的性能由哪些因素决定?
更新时间:2015-05-27
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不锈钢扩散泵的性能由哪些因素决定?
不锈钢扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样,被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动,气体分子碰到泵壁又反射回来,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩,zui后由前级泵抽走,而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热,如此循环工作达到抽气目的。
通常不锈钢扩散泵的性能是以极限真空、zui大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。下面就来看一下这几个部分的详细介绍:
1.极限真空:如果对一般扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。
2.zui大反压强:zui大反压强是指扩散泵所允许的前置压强zui大值。如果前级泵所产生的压强高于zui大反压强,则扩散泵就不能正常工作。
3.抽气速率:不锈钢扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。
4.冷阱及低温挡板:由于不锈钢扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子,大部分由泵壁冷凝,这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射,散射会返回被抽空间,这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板,这样就能使返加的蒸气被冷凝下来,截止了油蒸气的返流。