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简单介绍座式真空计的测试原理

更新时间:2015-05-15      浏览次数:429
  简单介绍座式真空计的测试原理
  座式真空计是基于在一定条件下,待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。在低压强气体中,气体分子被电离生成的正离子数与气体压强成正比。电离真空计是基于在一定条件下,待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。
  测量仪器由规管工作电源、发射电流稳压器、离子流测量放大器等部分组成。热阴极电离规管与被测真空系统相通。热阴极电离规管是一个三极管,管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位;栅极相对于阴极电正电位。当电离规管通电加热后,阴极发射电子,在电子到达栅极的过程中,与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电流一定时,正离子数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后,经测量电路放大,可由批示电表读出所要测量的真空度。
  座式真空计的真空系统暴露大气后,电离规玻璃泡和电极表面会吸附很多气体,在真空环境下,气体又被释放出来,影响测觉精度。为消除这种影响,在测量前必须对规管进行除气。电离规管除气采用烘烤方法,即给灯丝和栅极可分别通电加热,板极则采用高频感应加热或电子轰击,使气体在测量前被释放出来。

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